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  • MCL,MFL,MFS系列

    安川 SEMISTAR-MR124 半导体晶片搬运用机器人

    类别: MCL,MFL,MFS系列日期:2018-04-24 11:06:06
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           安川 SEMISTAR-MR124 半导体晶片搬运用机器人适用于晶元搬运SEMISTAR-M系列升级版,引领业界的高性能!供应EFEM模块全套设备。300枚/小时的高速搬运。

           半导体晶片搬运用机器人
           负载:-
           动态范围:1215mm
           控制柜:SR100
           用途:搬运、半导体

    安川SEMISTAR-MR124机器人实物图

           大动作范围:EFEM模块移动距离可达4套应用设备,无需使用底架,极大地提高了搬运效率。
           高速搬运:300枚/小时
           适用:300mm-450mm晶片搬运


    安川 SEMISTAR-MR124 半导体晶片搬运用机器人  


           *1:本公司标准终端效应器(300mm:边缘把持/真空吸着,450mm:真空吸)
           *2:300mm晶体(SEMI规格标准品),当使用本公司标准300mm对应终端校准器时
           *3:机械臂回旋中心位置~晶体中心位置(本公司标准300mm对应终端效应器时)
           *4:根据SEMI规格为基准的晶体规格。特殊石英晶体请与我司联系。石英晶体也可对应(有业绩)。但是根据石英规格,本公司需要进行评价和调整。
           *5:在0.3m/s的流量下,机械臂进行真空吸附


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